반도체 장비업체인 케이씨텍은 사전 약품혼합기능이 부가된 새로운 개념의 약품공급장치를 이번 전시회에 출품한다.
최신 개발된 이 장비는 반도체 세정 및 식각공정에 사용되는 불화수소산(HF)과 초순수(DI Water)를 일정 비율로 혼합한 후 이를 공정장비에 자동으로 공급해주는 설비다.
또한 다양한 약품조절기능을 통해 혼합비율을 수시로 변경할 수 있어 약품 혼합비율 변경시 장비교체 및 개조에 따른 불편함을 해소했으며 반도체의 고집적화에 대응한 미세 약품조절기능도 구현한다.
케이씨텍은 이와 함께 반도체 제조과정 중 에칭공정에 사용되는 필수 소모품 가운데 하나로 최근에 개발한 실리콘 캐소드(Cathode)와 정전척(ESC : Electrode Static Chuck)도 선보인다.캐소드는 반도체 식각과정 중 웨이퍼 위에 부착돼 공정가스를 일정하게 분사시키는 기능과 함께 플라즈마를 발생시키는 전극의 역할도 수행하는 소모성 제품이며, 특히 실리콘 캐소드는 기존 아모퍼스 카본 재료 대신에 웨이퍼와 같은 소재인 실리콘 단결정으로 만들어져 0.18미크론 이하의 초미세 반도체 회로공정에까지 적용 가능하다.
또한 정전척은 반도체 제조과정 중 에칭공정에서 정전기를 이용해 웨이퍼를 고정시키는 기능과 함께 하부전극(Lower Electrode)으로서의 역할도 수행하는 고가의 소모성 제품으로 기존의 기계적 웨이퍼 고정장치보다 한 단계 발전된 형태다. 이에 따라 케이씨텍은 현재 전량 수입, 사용되고 있는 이 제품의 본격적인 국산 대체에 나설 방침이다.