DUV용 스테퍼를 비롯한 각종 반도체용 노광 장비에 대한 수요가 오는 2003년까지 최대 2배 이상 급증할 것이라는 전망 보고서가 나왔다.
미국의 시장 전문 조사기관인 인포메이션 네트워크에 따르면 지난해 세계 반도체 노광 장비시장은 전년대비 28.3% 가량 줄었으나 올해부터 0.25미크론 이하의 미세 반도체 공정이 일반화되면서 향후 5년간 DUV용 스테퍼 및 스텝 앤드 스캔(Step & Scan) 시스템에 대한 수요가 급증할 것으로 예상되며 대당 장비 가격도 800만달러 이상 수준에 달할 것으로 전망됐다.
스테퍼는 반도체 제조 과정에서 설계된 회로를 웨이퍼에 투사하는 핵심 장비며 최근 등장한 스텝 앤드 스캔 시스템은 이미지 전체를 한꺼번에 노광시키는 스테퍼와 달리 DUV 광원을 레티클과 함께 빠른 속도로 움직이며 웨이퍼에 투사해 기존보다 넓은 이미지 필드를 형성할 수 있는 방식의 반도체 노광 설비다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>