지난 94년 설립된 실리콘테크(대표 김민홍)는 반도체용 케미컬 공급장치, 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer), WEE(Wafer Edge Ex
posure)시스템 등과 같은 차세대 트랙장비용 핵심모듈을 국내 최초로 개발한 이 분야 전문 벤처기업이다.
이 회사가 개발한 트랙장비용 핵심 모듈은 삼성전자·현대전자 등의 국내 업체와 대만의 에이서·TSMC·MXIC·뱅가드 등 해외업체에 공급되고 있다. 트랙장비는 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해주는 반도체 노광공정용 핵심장비로 대당 가격이 20억원을 호가하는 고가 장비.
이 가운데 실리콘테크가 개발, 수출하는 트랙장비용 핵심모듈은 트랙시스템의 전체 성능을 좌우하는 핵심품목들이며 차세대 DUV 노광공정에까지 적용할 수 있는 첨단 제품이다. 이 회사가 단일장비가 아닌 핵심 모듈부터 국산화한 데는 나름대로 이유가 있다. 반도체 장비의 경우 핵심 모듈기술만 보유하고 있으면 필요시 전체 시스템을 제조하는 일은 그리 어려운 작업이 아니기 때문.
이러한 핵심모듈 개발기술을 바탕으로 실리콘테크는 조만간 300㎜ 웨이퍼, DUV용 등과 같은 각종 차세대 트랙시스템도 출시할 계획이며 내년 상반기 코스닥 시장 등록도 추진중이다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>