반도체 장비 공급업체인 팀코리아(대표 김거부)는 이스라엘 인스펙텍(InspecTech)사가 개발한 반도체 웨이퍼 검사장비 「KIS2000」 제품을 국내에 공급한다고 8일 밝혔다.
이 제품은 웨이퍼 절단 공정 후에 생기는 각종 불량 사항을 검사하는 장비로 웨이퍼의 앞면과 뒷면을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 웨이퍼 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 줄일 수 있다.
특히 각종 검사 결과가 하드디스크에 자동으로 저장돼 그래프 및 차트 형태로 실시간 확인해 볼 수 있으며 이를 통해 톱날 상태 및 회전속도 등 각종 작업 조건을 최적화시킴으로써 전체적인 생산 효율의 향상이 가능하다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>