박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)업체들이 생산공정의 신기술 개발로 생산성 및 수율을 크게 높이고 있다.
삼성전자와 LGLCD 등은 최근 TFT LCD제조공정 중 가장 핵심인 포토마스크 공정에서 소요되는 마스크 수를 5개로 줄인 신기술을 개발해 특허출원과 함께 양산라인에 적용, 20% 이상의 생산성향상을 거두고 있다.
포토마스크는 얇은 유리기판 위에 세정·박막·증착·포토·에칭공정의 순차적인 반복으로 여러 층의 박막을 입혀 TFT를 형성시키는 공정으로 현재 TFT LCD업체들은 대부분 6∼7개의 마스크를 사용하고 있는 것으로 알려졌다.
삼성전자는 천안공장의 600×720㎜ 일부생산라인에 5마스크 포토공정기술을 적용해 20% 가량의 생산성 향상과 수율을 크게 높여 제조원가를 낮춘 데 이어 현재 이보다 향상된 4마스크의 포토공정기술을 개발하고 있다.
LGLCD도 5마스크의 포토공정기술을 개발해 370×470㎜ 생산라인에 적용, 신규투자없이 월 1만8000개(14.1인치 기준) 이상의 추가 생산으로 20%의 생산성과 3∼4% 정도의 수율 향상을 보인 데 이어 지난 6월부터 590×670㎜라인에도 확대 적용, 모니터용 15.1인치와 18.1인치의 생산량도 크게 늘렸다.
관련업체의 한 관계자는 『마스크 수를 줄이는 것은 그만큼 공정을 줄일 수 있어 생산성과 수율향상에 큰 영향을 미치게 되는 데 1개의 마스크를 줄이면 개당 10∼20%의 생산원가를 절감하는 효과를 나타낸다』면서 『현재 5마스크의 포토공정기술 적용으로 국내 업체들의 생산기술은 세계 최고수준을 확보하게 됐다』고 밝혔다.
<원철린기자 crwon@etnews.co.kr>