어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 저전류 영역에서의 제품 생산성을 2배 이상 향상시킨 새로운 이온주입기 「퀀텀(Quantum)」을 국내에 공급한다고 28일 밝혔다.
이번에 공급되는 퀀텀은 반도체 제조시 불순물(이온)을 전기장으로 가속하여 웨이퍼에 투입, 특정 회로부분에 전도성을 띠게 하는 장치로 150, 200, 300㎜ 등 다양한 크기의 웨이퍼를 고속으로 처리할 수 있다.
특히 이 장비는 옵션 패키지의 추가를 통해 다양한 에너지 영역을 소화해 냄으로써 0.18미크론 이하의 초미세 반도체 제조에 적용할 수 있는 새로운 이온주입 및 고속 열처리 기술인 USJ(Ultra Shallow Junction) 공정에 대응한다.
어플라이드가 자체 개발한 USJ 기술은 반도체 제조과정 중 저에너지 이온주입과 고속 열처리(RTP) 공정의 최적화된 통합 및 검증을 통해 차세대 기가헤르츠(㎓)급 이상의 소자 생산을 가능케 하는 새로운 반도체 공정 솔루션이다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>