터보테크의 자회사인 넥스트인스트루먼트(대표 장흥순)가 반도체 장비 산업에 본격 진출한다.
13일 넥스트인스트루먼트는 최근 반도체 공정 장비업체 실리콘테크와 공동으로 램버스 D램용 일체형 오토핸들러를 개발, 내놓은 데 이어 10월중 반도체 검사용 이미지 시스템을 내놓을 계획이라고 밝혔다. 이 회사는 이어 2000년부터 이들 전·후공정 반도체 장비 양산에 들어가게 된다.
이 회사가 오는 10월중 선보일 전공정장비인 반도체 검사용 이미지 시스템은 현미경에 이미지 보드를 부착, 웨이퍼 검사 결과를 PC에 압축·저장할 수 있는 장비로서 일본 반도체업체를 대상으로 제품을 시연하고 있다.
또 실리콘테크와 공동 개발한 일체형 테스트핸들러는 특히 램버스 모듈을 자동으로 검사할 수 있는 성능을 갖춘 제품으로 검사의 효율성을 극대화했다.
이 회사는 오는 10월까지 단계적인 제품 성능 비교 시험을 마치고 연내 양산 준비를 거쳐 내년부터 이들 장비를 국내 및 일본 반도체 업체를 대상으로 공급할 계획이다.
터보테크와 넥스트인스트루먼트는 이에 따라 반도체용 전공정 핵심장비부터 후공정 장비에 이르는 선진국형 반도체 장비를 순수 국산 기술을 바탕으로 CNC장비 제조 분야는 물론 반도체 장비 분야 진출의 교두보를 확보하게 됐다.
이 회사 장흥순 사장은 『500억원 규모의 사업자금과 CNC기술을 바탕으로 정밀제어 기술이 요구되는 첨단반도체 장비를 단계별로 국산화하겠다』고 밝혔다.
<안수민기자 smahn@etnews.co.kr>