국내에서도 환경친화형 반도체와 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)의 제조장비·재료 개발이 활기를 띠고 있다.
1일 관련업계에 따르면 케이씨텍·덕산하이메탈·디엠에스·아토 등 업체들은 반도체와 TFT LCD 제조과정에서 사용하거나 발생하는 각종 유독가스와 화합물, 재료의 사용을 줄이거나 대체할 수 있는 장비·재료를 개발하는 데 적극 나서고 있다.
업체들이 친환경적인 장비·재료 개발에 힘을 쏟는 것은 반도체·TFT LCD 생산에 필연적으로 수반되는 환경오염을 줄이려는 노력이 전세계적으로 확산되는 추세인데다 2000년대들어서는 환경친화형 장비·재료의 수요가 본격 형성될 것으로 판단하기 때문이다.
반도체 세정장비와 가스공급시스템, 스크러버 등을 생산하는 케이씨텍(대표 고석태)은 순수·초순수·디아이워터 등 무공해 세정액과 드라이아이스 등을 사용, 반도체를 세정할 수 있는 장비를 개발중이다. 이와 함께 기존 스크러버·퓨리파이어 등의 기능을 개선한 장비도 이르면 내년에 선보일 예정이다.
반도체와 기판을 연결하는 솔더볼을 생산하는 덕산하이메탈(대표 이준호)은 울산대 금속공학과 정은 교수팀과 협력, 납을 함유하지 않은 무연 솔더볼을 개발해 국내 반도체 생산업체와 패키지업체들을 대상으로 영업중이다.
가스공급장치 제조업체인 아토(대표 오순봉)는 최근 반도체·LCD 제조공정에 사용하는 HF/HNO₃ 화합물을 대체할 수 있는 환경친화형 화학약품을 개발, 시판에 들어갔다.
LCD장비 분야의 벤처기업인 DMS(대표 박용석)도 자외선 램프를 이용해 LCD 유리패널의 미세한 먼지나 불순물을 제거하는 환경친화형 제품인 LCD용 건식 세정기(Dry Cleaner)를 개발, 본격적인 공급에 나섰다.
이일주기자 forextra@etnews.co.kr