반도체 검사장비 전문업체인 극동뉴메릭(대표 김한기)이 일본의 STC(Science Technology Corp.)와 256M D램과 기가급 D램의 양산에 적용할 차세대 12인치(300㎜) 웨이퍼용 식각장비(Etcher)를 공동 개발하기로 합의했다고 13일 밝혔다.
이번 합의에 따라 장비기술 제공자인 STC는 식각장비 개발에 필요한 하드웨어와 소프트웨어의 제반기술을 극동뉴메릭에 이전하고 극동뉴메릭이 장비를 생산하게 되며, 앞으로 취득하는 특허는 양사가 공유하게 된다.
특히 두 회사는 차세대 반도체장비의 개발·생산을 위해 극동뉴메릭이 90%, STC가 10%를 출자해 별도의 합작법인을 설립하기로 합의했으며, 삼성벤처캐피탈에서 이 합작법인에 지분투자를 검토중이다.
극동뉴메릭은 앞으로 2년동안 약 200억원을 투자해 올해 7월까지 시제품 개발을 완료하고 시험 가동을 거친 후 2001년부터 본격적인 생산에 들어가 국내 소자업체는 물론 해외시장에도 공급할 예정이다.
이번에 공동 개발하기로 한 식각장비(Etcher)는 대당 가격이 25억원에 이르는 고가장비로 반도체 공장 1개 라인(웨이퍼 3만장 가공 기준)당 100여대가 필요한데, 그동안 미국의 어플라이드머티리얼스(AMT), LAM, 일본의 동경일렉트론, 오키 등이 국내시장에 전량 공급해왔다.
한편 STC는 일본의 주요 반도체장비 제조업체에 식각공정의 부품과 장비를 공급해온 회사로, 식각공정에서 기술적으로 가장 어려운 최적의 웨이퍼 가공환경을 조성하는 데 필요한 진공화 장비(Vacuum)와 플라즈마 소스(Plasma Source)의 핵심원천기술까지 보유하고 있다.
온기홍기자 khohn @etnews.co.kr