반도체 검사·계측장비 제조업체인 아주하이텍(대표 최현호 http://www.aj uhitek.co.kr)은 BGA(Ball Grid Array)·TAB(Tape Automated Bonding)·리드프레임(Leadframe) 등 반도체부품 제조과정에서 발생하는 미세결함을 검출하는 자동검사장비를 개발, 공급에 나섰다고 8일 밝혔다.
이 회사가 공급하는 리드프레임 자동검사장비는 리드프레임의 완성품 또는 공정중 검사에 적용되는 장비로 고체촬상소자(CCD) 카메라를 이용해 내부 리드부의 넓이와 선명도, 에칭(Etching)·표면·기계 결함 등을 0.5∼1초 속도로 검사할 수 있다.
이 회사는 지난해 아주액심에 리드프레임 5대를 납품한 것을 시작으로 올해 국내시장에 20대, 대만·싱가포르·말레이시아 등 아시아 지역에 10대를 각각 공급할 계획이다.
아울러 BGA·TAB 자동검사장비 부문에서도 지난해 스템코에 장비 1대를 첫 공급한 데 이어, 올해 LG마이크론·삼성항공 등 국내업체들을 대상으로 10대 규모의 공급목표를 세웠다.
이 회사는 최근 반도체장비 제조업체인 실리콘테크(대표 우상엽 http://stl.co.kr)와 공동으로 메모리 모듈 인쇄회로기판(PCB) 검사장비를 개발한 데 이어 영상처리 보드와 카메라·일반조명을 이용해 PCB 패턴을 자동으로 검사하는 PCB 자동광학검사(Automatic Optical Inspection)장비의 자체 개발도 상반기중에 완료할 계획이다.
<온기홍기자 khohn @etnews.co.kr>