반도체 제조공정용 장비생산에 타 분야 업체들의 신규참여가 잇따르고 있다.
5일 관련업계에 따르면 기계·산업전자 관련업체와 외국의 반도체 장비·재료를 수입·판매해온 업체들이 사업다각화의 일환으로 기존업체를 인수하거나 자체 기술력을 바탕으로 반도체 제조 후공정과 조립장비 분야를 중심으로 이 시장에 뛰어들고 있다.
이같은 움직임은 첨단산업 진출의 필요성과 함께 지난해 하반기부터 되살아난 반도체 관련시장 경기가 당분간 호황을 누리면서 장비수요가 증가할 것으로 판단한 데 따른 것이다. 아울러 반도체 관련장비 가운데 아직까지 국산화가 안된 품목이 많은 것도 업체들의 신규진출 움직임을 부추기고 있다.
필름콘덴서 제조업체인 고려전기(대표 김상우)는 지난 1월 반도체자동화장비업체인 트라이맥스에 지분을 출자(6억원 규모)하고 반도체장비사업에 진출했다.
진공증착·레이저 응용기술을 연구해온 트윈텍(대표 조홍식)은 최근 진공펌프·부품 제조업체인 퀼리플로나라테크 등과 반도체장비 기술제휴 및 합작투자 계약을 맺고 반도체장비제조사업에 진출했다. 이 회사는 올해안으로 퀼리플로나라테크와 공동으로 마이크로 볼그리드어레이(BGA : Ball Grid Array)공정에서 접합용제를 사용하지 않고 진공로에서 칩과 기판을 접합하는 솔더링장비와 반도체 RTP(Rapid Thermal Processing)공정장비를 개발할 예정이다.
피혁 전문업체인 성진네텍(대표 여일균)은 지난해 반도체 시각 검사장비를 개발한 네트를 인수한 후 반도체와 액정표시장치(LCD)의 제조공정에 사용하는 스캔비전 검사기술 등을 개발했다.
공작기계업체인 터보테크의 자회사인 넥스트인스트루먼트(대표 장흥순)는 지난해 반도체검사용 이미지시스템을 내놓고 반도체장비시장에 뛰어든 데 이어, 최근 반도체장비 제조업체인 실리콘테크와 공동으로 모듈시스템 실장 테스터를 개발하고 있다.
일본·미국·유럽업체들로부터 엑시머레이저 등 반도체 관련 재료·장비를 국내 반도체 칩 제조사에 공급해온 미산인터내셔날(대표 박상민)도 그동안 쌓은 기술력을 바탕으로 조만간 반도체 제조장비의 국산화에도 나설 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>