반도체 제조 전공정장비 제조업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.j seng.com)은 최근 경기도 광주 공장에서 화학증착(CVD) 공정장비인 「유레카(EUREKA) 2000」 60호기를 출하하고 기념식(사진)을 가졌다.
국내 모 반도체 소자업체로 출하된 이 장비는 256M D램 생산에 필수적인 고집적 반도체 소자 제조공정용 장치로 대당 가격이 30억원에 이르는 고가 첨단장비다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>