반도체 제조공정용 장비제조 신생업체인 셀라이트(대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)가 검사장치사업에 본격 나섰다.
이 회사는 최근 업계 처음으로 상용화한 웨이퍼 에지(wafer edge) 검사장비(모델명 Edge-2000)를 국내 한 소자업체에 공급했다고 밝혔다. 또한 웨트(wet) 공정 중 인라인(In-line) 상태에서 테스트가 가능한 케미컬모니터링시스템의 시제품도 개발, 최근 소자업체에서 장비적합성 평가를 마치고 공급물량 확보에 나설 계획이라고 덧붙였다.
아울러 이 회사는 충북대 전기전자공학부와 공동으로 신규 검사장비 개발에 착수, 올 7월께 시제품을 내놓을 예정이다.
홍성균 사장은 『앞으로 소자의 고집적화가 진행되면서 서멀(thermal) 공정이 더욱 많아짐에 따라 웨이퍼 에지 검사장비의 수요가 많아질 것』이라고 말했다.
이 회사는 반도체장비의 양산을 위해 올하반기중으로 경기도 기흥에 부지 2000평을 확보, 500평 규모의 공장을 완공할 예정이다. 아울러 올초 10여명의 생산·개발인력을 충원한 데 이어 연말까지 20명가량의 전문인력을 추가 확보할 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>