청색 발광다이오드(LED) 제조용 유기금속화학증착(MOCVD)공정장비가 국내 중소 벤처기업에 의해 국산화돼 해외에 첫 수출된다.
반도체 관련장비 제조 벤처업체인 한백(대표 박근섭·박재연 http://www.hanvac.co.kr)은 지난 97년 한국표준과학연구원과 공동개발한 MOCVD장비의 성능개선작업을 마치고, 최근 대만의 한 LED모듈 제조업체와 10대(약 900만달러 규모)의 장비 수출계약을 체결했다고 23일 밝혔다.
지금까지 국내 청색 LED모듈 제조업체들은 액시트론·엠코아·토마스스완 등 외국업체로부터 대당 15억∼25억원에 달하는 MOCVD장비를 전량 수입해 사용해왔으나 이번 국산화로 국내외 업체간 공급경쟁이 본격화할 전망이다.
MOCVD장비는 청색 LED를 양산하는 광소자인 질화갈륨(GaN)을 만드는 데 사용하는 장비로 수평형 RF 반응로를 채택하고 있다. 이 회사는 MOCVD장비 개발과정에서 확보한 원천기술에 대해 국내 및 일본·대만·미국에서 특허를 출원중이다.
이 회사는 충남 대덕 자체공장에서 MOCVD장비를 생산해 이달중 처음으로 1대를 대만에 선적하고 7월중 4∼5대를 추가 공급할 예정이며, 서울시립대에 연구개발용 MOCVD장비 1대를 납품하는 등 국내 대학과 연구소를 대상으로 장비공급에 나서 올해 120억원의 매출을 올릴 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>