반도체·액정표시장치(LCD) 관련 장비업체인 아이램테크(대표 황찬영)가 웨이퍼 및 LCD를 이동시키는 반송용 로봇 시스템의 공급에 본격적으로 나선다.
이 회사는 최근 웨이퍼·LCD 반송용 로봇시스템의 성능 개선작업을 마치고, 국내 반도체 장비 제조업체 및 LCD 제조업체에 납품해 시험적용중이라고 28일 밝혔다.
이 회사가 공급하는 웨이퍼 반송용 로봇은 일반형과 웨이퍼 세척공정에 적합한 방수형 등 두개 모델로 구성, 차세대 12인치 웨이퍼를 이송시킬 수 있고 0.5㎏의 가반중량을 갖추고 있다. 아울러 3축으로 구성된 이 로봇은 세라믹 핸드에 의한 진공흡착기능이 우수하고 웨이퍼 감지 및 위치제어 기능을 갖고 있다.
또한 최대 5축으로 구성된 LCD 반송용 로봇은 730×920㎜ 크기의 LCD를 운반할 수 있으며, 텔레스코픽 방식에 의한 상하이송이 가능하고 진공흡착장치를 이용해 운반중이나 카세트 입출고시 위치제어가 가능하다.
황찬영 사장은 『이번에 국산화한 로봇은 지금까지 국내에서 수입해 사용해온 일본·미국산 로봇과 비교해 기능도 우수하며 가격도 30%가량 저렴하다』면서 『이르면 다음달중 생산공장을 확충해 로봇 및 관련 응용 시스템의 생산에 나서 올해 60억원의 매출을 올릴 계획』이라고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>