일본업체들이 장악해온 항온항습공기공급장치(THC : Temperature Humidity air Controller)시장이 국내업체들 사이의 경쟁으로 바뀌고 있다.
THC는 포토 공정에서 포토레지스트 코팅을 하는 트랙(track) 장비나 얼라이너(aligner) 장비 중 광학렌즈의 항온·항습 유지와 오염제거용으로 사용하는 장비로 올 한해 200∼300대 정도의 수요를 형성할 것으로 예상되고 있다.
이 시장은 일본 코마츠·신화·아사아 등에서 장악해왔으나 올들어 코삼과 다산씨앤드아이가 자체 개발한 제품을 내놓고 일본업체들의 물량을 대체하면서 두 회사간 치열한 경쟁을 벌이고 있다.
코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 올들어 지금까지 온도제어 범위 ±0.05도, 습도 ±0.25%를 갖춘 전기식 THC 60대 가량을 삼성전자·현대전자 등에 납품했다.
이 회사의 관계자는 『현재 반도체 소자업체와 공급협상을 진행하고 있어 올해 말까지 60여대 정도를 추가 공급할 수 있을 것으로 전망된다』고 말했다.
칠러 등 반도체장비를 생산하는 다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.co.kr)도 온도 ±0.05도, 습도 ±0.25%의 제어범위를 갖추고 열전냉각소자(thermoelectric module)를 사용하는 항온항습장치를 개발, 지금까지 코삼과 비슷한 규모의 물량을 국내 반도체업체에 공급했다. 이 회사는 올해 말까지 THC 공급목표를 100여대로 잡고 있다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>