성원에드워드(대표 김중조 http://www.bocedwards.com)가 반도체 제조공정용 로터리 펌프 및 화학약품 공급장치를 생산하기로 했다고 14일 밝혔다.
이 회사는 영국 BOC에드워드에 반도체용 진공펌프를 생산·공급하기로 한 데 이어 최근 미국의 슬러리 공급장치업체인 에프에스아이의 한 법인을 흡수하고 하반기부터 천안 2공단의 공장에서 장비 생산에 나설 예정이다.
이 회사는 또 하반기중 NF₃·C₄F●과 같은 반도체 제조용 특수가스를 생산하기 위해 충남 천안 3공단에 2500평 규모의 공장을 완공, 가동에 들어갈 예정이다.
김중조 사장은 『최근 영국 제휴사인 BOC에드워드와 미국 에어프로덕트·에어리퀴드 사이의 합병계획이 무산되면서 반도체장비 및 특수가스 생산에 뛰어들게 됐다』며 『생산설비 등을 구축하고 하반기부터 국내 및 아시아 시장 공략에 나설 계획』이라고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>