21세기 첨단 반도체장비·재료산업과 기술동향을 한자리에서 들여다볼 수 있는 「세미콘웨스트(SEMICON West) 2000」 전시회가 미국 샌프란시스코 모스콘센터에서 10일 오전 10시(현지시각) 개막된다. 관련기사 16∼17면
세계반도체장비·재료협회(SEMI·http://www.semi.org) 주최로 오는 14일까지 열리는 이번 전시회에는 한국을 비롯해 미국·일본·유럽 등 전세계 10여개국 2000여개 반도체장비·재료업체가 참가, 차세대 반도체 개발·생산에 필요한 각종 전공정 및 후공정장비와 재료들을 일제히 선보였다.
이번 전시회는 전공정 장비·재료부문은 10∼12일 샌프란시스코 모스콘센터에서, 후공정 부문은 12∼14일 새너제이 컨벤션센터에서 각각 나뉘어 열린다.
세미콘웨스트 전시회에는 실리콘테크·스피드엔지니어링·아이피에스 등 국내 10개사도 참가, 식각(etching)공정장비와 웨이퍼 이송장치, 칠러(chiller), 모듈테스터, 메모리 IC테스트 핸들러, 감광제, 화학기계적연마(CMP)용 슬러리 등의 차세대 제품을 출품하고 해외시장 개척에 나설 계획이다.
세미콘웨스트 2000에서는 전공정분야의 300㎜ 웨이퍼, 구리칩 제조공정용 장비와 공정분석·자동화장치 등이 출품돼 눈길을 끌고 있다. 후공정분야에서도 고속메모리 및 시스템온칩(SOC) 테스트 시스템 및 마이크로BGA 등의 첨단 패키지 공정제품들이 이목을 집중시킬 전망이다.
<샌프란시스코(미국)=온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>