반도체 경기의 호조속에 공동 기술개발 및 생산·판매를 위한 국내외 반도체 장비업체의 합작 제휴가 활발하게 이뤄지고 있다.
국내 반도체 장비업체들은 차세대 제품을 단독으로 개발하는 데 따른 비용과 위험도를 줄이면서 단기간에 첨단 기술력과 해외 판매망을 확보하기 위해 기술력을 보유한 외국업체와의 제휴를 추진하고 있다. 여기에 외국업체들도 반도체 투자가 활발한 국내시장 확대차원에서 한국 장비업체들에 손을 뻗치고 있다.
극동뉴메릭(대표 김한기)는 반도체 전공정 장비부문에 신규진출하기 위해 올상반기 일본 식각(에칭)장비 전문업체인 STC와 합작으로 차세대 300㎜ 크기 웨이퍼용 식각장비를 공동 개발·판매하는 「에이티엘」을 설립했다. 에이티엘은 STC에서 진공화 장비와 플라즈마 소스 등 식각장비 개발에 필요한 제반기술을 이전받아 다음달까지 식각장비의 시제품을 내놓고 경기 안양 소재 극동뉴메릭의 2공장에서 생산할 예정이다.
반도체 공정용 가스모듈 및 전력공급장치업체인 미 아스텍(ASTeX)의 제품을 수입·판매해온 금영(대표 박경수 http://www.kyi.co.kr)은 최근 아스텍과 50 대 50으로 합작법인(자본금 13억원)인 아스텍코리아(대표 김완호)를 설립했다. 아스텍코리아는 우선 미국 아스텍에서 핵심부품을 들여와 관계사인 경기 송탄공단 피에스케이테크 공장에서 오존발생기를 생산하고, 내년부터 플립(flip)칩용 스퍼터(sputter)의 조립·생산에 나설 계획이다.
반도체 제조공정용 냉각장비를 제조하는 코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 최근 플라즈마디스플레이패널(PDP) 제조용 장치 개발을 위해 일본 라스코사 등과 70 대 30의 비율로 합작, 일본에 합작법인인 「크레이」를 설립했다. 크레이는 수입에 의존하고 있는 PDP 제조공정용 「파우더 에칭」 장비를 개발, 내수판매와 함께 수출할 예정이다.
식각공정용 실리콘 음극(캐소드)을 생산해온 기림세미텍(대표 이정기 http://kirim-s.com)은 최근 미국 TCB와 식각공정용 필수 소모품인 정전척(ESC)의 기술이전 및 공동 생산·판매에 합의하고 합작법인 설립도 검토중이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>