반도체 제조용 장비업체인 함국엠에이티(대표 김동수 http://www.mat.co.kr)는 올들어 가스 정제장치(스크러버)의 해외수출이 활기를 띠고 있다고 22일 밝혔다.
이 회사는 지금까지 대만의 반도체 제조업체인 UMC와 액정표시장치(LCD)업체인 유니텍 등에 450만달러어치를 수출한 데 이어 대만 반도체업체에 300만달러 규모의 차세대 300㎜ 웨이퍼 공정용 가스 스크러버 수출을 추진중이다.
아울러 이 회사는 최근 미국의 IBM·루슨트테크놀로지, 일본 NEC의 미국 캘리포니아 공장 등에서 가스 스크러버의 양산 검증을 마쳐 조만간 이들 업체에 장비를 수출할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
또한 이 회사는 지난해 기술판매 계약을 맺은 미국의 GAS에 주문자상표부착생산(OEM) 방식으로 장비를 공급할 예정이다.
이 회사는 연소(burning) 및 습식(wet) 방식을 결합한 「MAT 501」과 연소 및 흡착 방식의 「MAT 505BA」 등 가스 스크러버 2종을 수출해 올해 말까지 60억∼70억원의 매출을 달성할 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>