반도체 제조공정용 장비업체인 한국엠에이티(대표 김동수 http://www.mat.co.kr)가 이번 전시회에 중점 선보이는 제품은 반도체 공정용 가스·이물질 세정장비인 스크러버(scrubber), 필터링 시스템이다.
이번 전시회에 처음 선보이는 스크러버 신제품 「MAT 507BW」는 수소 화합물 가스 처리(번·Burn)방식과 수용성 가스 및 각종 파우더 처리(웨트·Wet) 방식을 혼합채택했으며 설비자체의 자동처리 기능을 강화하고 PM(Preventive Maintenance)시간을 크게 줄일 수 있어 공정설비의 가동시간을 최대한 늘릴 수 있다. 아울러 PM시 필수적인 번 부위와 웨트 부위를 모터를 이용해 자동 분해함으로써 손쉽고 빠른 분리가 가능하다.
또한 「MAT 507BW」는 공정 진행중에도 설비가 자체적으로 판단해 번 체임버와 웨트 내에서 자동 자가세정(self clean)이 가능해 불필요한 설비다운을 방지해 준다. 이와 함께 재순환 장치를 내장해 설비크기를 줄이고 폐수의 양도 감소시킨다. 이외에 열 교환장치 및 배기 스프레이 노즐을 개선해 물방울 입자의 크기를 제어함으로써 배기가 되는 것을 막을 수 있다.
또한 이 회사가 국내외에 특허를 출원한 약제 타입의 스크러버인 「MAT 101A」
는 멀티 인넷 구조를 채택, 같은 약제를 사용하더라도 사용기간을 훨씬 길게 해준다.