반도체 제조 관련 부품·장비업체인 뉴영엠테크(대표 장정훈 http://www.nymtech.com)는 현대전자, 한양대 박진구 교수팀과 공동으로 반도체 화학·기계적연마(CMP)공정에서 발생하는 폐슬러리(slurry)를 재활용할 수 있는 장치의 시제품을 개발했다고 20일 밝혔다.
이 회사는 내년 초 반도체 소자업체에서 양산라인 적용 평가를 실시, 상용화에 나설 예정이다.
이번 장치는 3개의 배스(bath)를 채택, CMP공정에서 한번 사용된 폐슬러리를 70%까지 재활용(recycle)할 수 있으며 용수(DI water)의 재활용도 가능하다. 이 회사는 향후 폐슬러리 처리 및 재활용 기술을 90%까지 높일 계획이다.
회사 관계자는 『폐슬러리의 재활용 장치가 본격 적용될 경우 슬러리 사용량의 70% 이상을 절감할 수 있으며, 웨이퍼 한장당 소요되는 슬러리 비용도 크게 낮출 수 있어서 소자업체들은 6개월 정도면 CMP 슬러리 비용을 회수할 수 있을 것』이라고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>