반도체 제조공정용 가스 캐비닛 및 가스 정화장치 주력 생산업체인 아토(대표 오순봉 http://www.atto.co.kr)가 반도체 제조과정에서 발생하는 유독가스와 과불화탄소(PFC) 계열 가스를 정제하는 가스 정제장치(스크러버) 시장에 진출한다.
이 회사는 최근 유독가스 및 PFC가스 스크러버 시제품을 자체 개발하고, 내년 초부터 경기도 시화공단내 신공장에서 양산에 들어갈 계획이라고 20일 밝혔다.
이 회사가 개발한 번(burn)·습식(wet) 타입의 가스 스크러버는 반도체 확산(diffusion)·화학증착(CVD)공정에서 사용되는 실리콘·인·붕소계 유해가스들을 태우거나 물에 용해시켜 대기배출허용농도 이하로 배출시킨다.
건식(dry) 스크러버의 경우 반도체 식각·이온주입공정에 들어가는 할로겐 화합물 및 비소·인·붕소계 가스를 금속산화물·금속수산화물 계통의 흡착 분해제를 사용해 처리한다.
아울러 PFC가스 스크러버는 화학증착공정의 세정가스와 식각공정의 식각가스로 사용되는 CF₄·C₂F<&23789>SF<&23789> 등 지구온난화에 영향을 끼치는 가스들을 고온의 플라즈마를 이용해 고온 열분해할 수 있다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>