반도체 관련 부품·장비업체인 우일하이테크(대표 강현암 http://www.wooilht.co.kr)는 반도체 제조공정용 대용량의 액체공급장치(모델명 LSS-W 시리즈)를 개발했다고 21일 밝혔다.
이번에 개발한 장치는 반도체 제조과정의 확산(diffusion)공정에서 체임버(chamber)에 부착되는 장비로 액체를 20리터까지 저장할 수 있으며 다양한 케미컬(TEOS, TEB, TEPO)의 적용이 가능하다.
교체용과 공정용으로 2개의 캐니스터(canister)를 장착한 이 장치는 또 자동 라필(refill)이 가능하며 교체용 캐니스터의 정화와 공정용 캐니스터의 소스 공급을 동시에 수행할 수 있다.
아울러 헬륨 가압공급방식의 이 제품은 질소와 헬륨 가스를 병행해 정화작업을 수행함으로써 유지비용이 저렴하며 진공발생기를 내장해 별도의 진공펌프가 필요없다.
이 회사는 이 제품에 대해 성능평가를 마치고 국내 반도체 소자업체들을 대상으로 공급에 나설 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>