간편한 작동과 관리기능이 특징인 케이씨텍의 반도체 세정장비 오토웨트스테이션(KWS-8000A).
케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)은 이번 전시회에 반도체용 세정장비인 오토웨트스테이션(모델명 KWS-8000A)을 출품했다.
5인치·6인치·8인치 웨이퍼에 적용되는 이 제품은 간단하면서도 고품질을 추구하며 순수 약액 처리조의 최적화로 풋 프린트(foot print)를 축소한 것이 특징이다. 또한 약액 온도·유량·혼합비를 관리하기가 쉽고 최적으로 설계된 배관은 약액의 사용량을 절감시킨다.
구동프로그램으로 윈도NT를 사용하는 이 제품은 스케줄관리 PC가 있어 작동이 간편하고 공장자동화 추세에 맞춰 메인시스템과의 통신이 가능하다.
케이씨텍은 이 제품과 함께 LCD·PDP용 웨트스테이션(모델명 KWS-9000A)도 출품함으로써 그동안 가스공급장치(gas cabinet system)에 주력해왔던 것에서 탈피, 부가가치가 높은 반도체 및 LCD·PDP 제조용 앞공정 장비 분야로 경영역량을 집중할 계획이다.
이밖에 케이씨텍은 주력제품인 가스공급장치도 출품했다. 이 제품은 완전연동장치(complete interlock system:현재 처리중인 동작이 끝나기 전까지 다른 동작을 멈춰두는 장치)를 사용, 안정성을 높였다.