어플라이드머티리얼즈코리아(AMK·대표 이영일)가 이번에 출품하는 제품 가운데 눈에 띄는 것은 패턴된 웨이퍼의 결함을 검사하는 장비인 콤파스(Compass)다.
국내에선 처음 선보이는 장비로 0.10미크론의 초미세 회로선폭 디자인에 대응할 수 있는 게 특징이다.
이 장비는 사용방법이 간단하고 실시간 결함을 분류해 치명적인 결함만을 우선적으로 선택·관리함으로써 보다 정밀한 장비 및 공정 이상 조절이 가능하다. 또 6개의 다른 방향에서 정보를 취합하는 이미지기술로 여러 층에 다양하게 존재하는 결함을 정확히 검출한다.
웨이퍼 처리량은 시간당 60장이다.
검사장비에 필요한 「결함 탐지」 기능과 「웨이퍼 처리량」의 기능을 동시에 만족시킨다는 게 AMK측의 설명이다.
이 장비는 레이저 주사 기술을 기반으로 했다. 또 사용자가 공정물질, 패턴, 층 그리고 생산요소의 변경에 따라 장비의 민감도와 생산량을 조정할 수 있다.
특히 장비 또는 공정의 이상시 즉시 조치할 수 있게 해 수율의 하락을 최소화한다.
<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>