반도체 전공정 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 지난해 10월 대만의 반도체 수탁생산(파운드리) 업체로부터 수주한 400만달러 상당의 300㎜ 저압화학 기상증착(LP-CVD) 장비를 선적했다고 19일 밝혔다.
이번에 수출되는 300㎜ CVD 장비(모델명:유레카3000)는 주성엔지니어링이 보유한 기존 모델인 유레카(Eureka)2000을 잇는 것으로 반구형결정실리콘(HSG) 증착공정 등의 4개의 체임버로 이뤄져 있다.
주성엔지니어링은 『이번 수출을 계기로 300㎜ 장비시장에서 주도권을 차지할 수 있을 것으로 기대한다』고 설명했다.
<김인구기자 clark＠etnews.co.kr>