반도체 제조용 장비생산업체인 한국디엔에스(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 최근 미국 현지에서 FSI사와 반도체 세정설비의 핵심장치인 일드업드라이어(yield up dryer) 제조기술 도입계약을 체결했다고 22일 밝혔다.
FSI사는 미국 미네소타주 차스카에 본사를 두고 있는 반도체 장비업체로 스프레이와 건식세정기, 일드업드라이어를 생산하며 지난해 매출액 2800억원을 기록하는 등 300㎜ 장비시장에서 핵심기술을 보유한 회사다.
한국디엔에스 박창현 사장은 『이번 계약으로 올 3월부터 연간 40∼60대를 생산하는 웨트스테이션 WS820L, K-WET300 등에 자체 생산한 일드업드라이어를 장착할 수 있게 됐다』며 『대당 2억∼6억원에 달하는 이 설비를 차세대 공정에도 적용하면 연간 30억원 이상의 원가절감 효과를 거둘 수 있을 것으로 예상된다』고 말했다.
<김성욱기자 swkim@etnews.co.kr>