산업용 원자현미경(AFM) 제조업체인 PSIA(대표 박상일 http://www.psia.co.kr)는 최근 LG필립스LCD와 1000×1200㎜ 기판용 원자현미경(모델명 SM5L1012) 공급계약을 맺었다고 12일 밝혔다.
이 회사가 LG필립스LCD에 공급하는 원자현미경은 1대로 대당 단가가 8억원 수준이다.
액정표시장치(LCD)용 원자현미경은 포토공정을 마친 액정기판의 PR표면 단차 등을 시료의 손상없이 측정할 수 있어 LCD 생산공정을 최적화하는 데 필수적인 계측장비다.
그동안 일본업체가 국내에 공급한 원자현미경은 검사원이 수작업을 통해 LCD의 표면을 계측하는 오프라인 방식의 제품이었으나 이 회사 제품은 생산라인상에 배치해 무인으로 작동하고 검사결과를 자동으로 입력해 주는 인라인 자동화 제품이다.
‘SM5L1012’는 마이크로 머시닝(micro machining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료 표면에 근접시켜 발생하는 원자간의 상호 작용력을 측정, 시료표면의 형상을 알아내는 장치다. 또 진공상태에서만 작동되는 전자현미경과 달리 대기중에서도 사용가능하며 시료표면의 형상뿐만 아니라 시료의 전기·자기·물리적 특성도 계측할 수 있다는 장점이 있다.
한편 이 회사는 600×720㎜ 기판을 계측할 수 있는 6억원짜리‘SM5L6072’ 원자현미경을 지난해말 삼성전자 AMLCD사업부에 공급한 바 있다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>
