PSIA LG필립스LCD에 원자현미경 공급

산업용 원자현미경(AFM) 제조업체인 PSIA(대표 박상일 http://www.psia.co.kr)는 최근 LG필립스LCD와 1000×1200㎜ 기판용 원자현미경(모델명 SM5­L1012) 공급계약을 맺었다고 12일 밝혔다.

이 회사가 LG필립스LCD에 공급하는 원자현미경은 1대로 대당 단가가 8억원 수준이다.

액정표시장치(LCD)용 원자현미경은 포토공정을 마친 액정기판의 PR표면 단차 등을 시료의 손상없이 측정할 수 있어 LCD 생산공정을 최적화하는 데 필수적인 계측장비다.

그동안 일본업체가 국내에 공급한 원자현미경은 검사원이 수작업을 통해 LCD의 표면을 계측하는 오프라인 방식의 제품이었으나 이 회사 제품은 생산라인상에 배치해 무인으로 작동하고 검사결과를 자동으로 입력해 주는 인라인 자동화 제품이다.

‘SM5­L1012’는 마이크로 머시닝(micro machining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료 표면에 근접시켜 발생하는 원자간의 상호 작용력을 측정, 시료표면의 형상을 알아내는 장치다. 또 진공상태에서만 작동되는 전자현미경과 달리 대기중에서도 사용가능하며 시료표면의 형상뿐만 아니라 시료의 전기·자기·물리적 특성도 계측할 수 있다는 장점이 있다.

한편 이 회사는 600×720㎜ 기판을 계측할 수 있는 6억원짜리‘SM5­L6072’ 원자현미경을 지난해말 삼성전자 AMLCD사업부에 공급한 바 있다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>