라컴텍 (대표 임태성 http://ww.lacomtech.com)은 반도체장비를 테스트할 때 사용되는 실리콘 웨이퍼를 대체할 수 있는 더미웨이퍼를 개발, 본격 생산에 들어갔다고 17일 밝혔다.
이 더미웨이퍼는 주재료가 탄소섬유와 에폭시지만 실험결과 실리콘 웨이퍼와 비슷한 강성(80Gpa), 표면조도(0.001이하), 두께(0.775±10㎛), 직경(300±0.2), 질량(121∼122g) 등의 특성을 보였다.
라컴텍은 아이램테크·한국DNS 등의 장비회사에 이 더미웨이퍼를 공급중이라고 밝혔다.
그동안 반도체 세정·이송장비 회사들은 성능을 테스트하기 위해 불량 실리콘 웨이퍼를 사용해왔다. 그러나 장당 40만원씩 하는 300㎜ 실리콘 웨이퍼는 테스트중 잘 깨지는 단점 때문에 장비 개발사들의 개발비용을 높이는 요인으로 지적돼왔다. 이 더미웨이퍼는 장당 20만원에 공급되고 있다. 문의 (042)864-1170
<이재구기자 jklee@etnews.co.kr>