◆우광유니텍
우광유니텍(대표 김기택 http://www.wookwang.com)은 이번 전시회에 건식세정장비인 지플라클린(GPLACLEAN)을 선보인다. 지플라클린은 대기압 상태에서 플라즈마를 발생시켜 반도체용 웨이퍼 및 평판유리 표면의 이물질을 제거하는 장비다. 이 장비는 특히 지금까지 진공상태에서 플라즈마를 발생시키던 여타 장비와 달리 상온·상압에서 플라즈마를 발생시키는 기술을 적용해 눈길을 끌고 있다. 이 장비는 또 인라인 연속처리에 의한 생산성 증대가 가능하고 넓은 면적에 균일한 작업특성을 제공, 고품질 세정이 가능하다.
지플라클린은 소량의 공기 및 전기만을 사용하므로 원가절감 효과가 있으며 콤팩트형 설계로 기존 장비를 제거하지 않고도 애드온(add-on) 방식으로 탈부착이 가능하다. 우광유니텍측은 탈부착이 가능한 유닛 형태로 제품을 제공함으로써 기존 습식장비에도 간단한 유닛 부착으로 건식장비로 사용할 수 있어 업체들의 좋은 반응을 기대하고 있다. 이 장비는 건식장비를 사용, 인체에 유해한 가스를 발생하지 않는다. 무공해 청정생산을 실현함에 따라 앞으로 예상되는 환경규제에 대한 대비가 가능하다.
우광유니텍은 지플라클린의 환경친화성을 기반으로 국내 부품 및 장치산업계를 공략할 계획이며 막대한 수입대체 효과를 기대하고 있다.
◆셀라이트
반도체 검사장비업체 셀라이트(대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)는 이번 전시회에 독자개발한 TIMS-2000(Total Impurity Monitoring System)과 EDGE-2000(Wafer Edge Chipping System)을 선보인다.
TIMS-2000은 반도체 제조용 화학재료의 금속 오염도를 실시간으로 모니터링할 수 있는 검사장비로 웨이퍼 세정공정 배스(bath)내의 각종 화학재료를 감시함으로써 대형사고를 예방하고 화학재료의 유지상태를 최적화함으로써 수명을 늘리고 원가를 최소화할 목적으로 사용된다.
EDGE-2000은 기존에 육안으로 검사하던 웨이퍼 테두리 결함을 자동으로 검사하는 시스템이다. 이 장비는 웨이퍼를 자동으로 회전 또는 직선으로 이동시키면서 테두리에 생긴 결함을 라인스캐닝 카메라로 얻어지는 이미지 신호로 처리, 테두리 결함을 검사하는 장치로 웨이퍼 제조회사 및 반도체 제조회사의 수입과 출하시 검사, 각종 공정의 사전검사를 수행해 공정중 웨이퍼 결함으로 인한 불량을 미연에 방지할 수 있다.
TIMS-2000은 올해 IR52 장영실상을 수상한 데 이어 국산신기술(KT) 마크, 유럽인증규격(CE) 마크까지 획득함으로써 기술의 우수성을 대내외적으로 검증받았다.
이 회사 홍성균 사장은 “기술의 우수성을 검증받은 만큼 국내외 반도체 제조회사는 물론 유럽 등 해외시장 진출에도 주력할 계획”이라고 말했다.
◆아이티엠
아이티엠(대표 서용운)은 플라즈마 전원장치와 박막제조장치를 출품한다. 플라즈마 및 박막제조 핵심기술력과 노하우를 인정받고 있는 아이티엠은 아크 발생을 사전에 감지해 전압을 낮춤으로써 아크 발생을 근본적으로 억제할 수 있는 플라즈마 전원장치를 공급하고 있다. 이 장치는 아크 발생 후 1000분의 1초 안에 디스플레이를 통한 경고표시와 함께 자동적으로 아크를 없애주는 기능을 갖추고 있다. 아이티엠은 미국 어드밴스트에너지 등 선진업체와 동일한 수준의 아크 제거 속도를 달성하기 위한 고성능 프로세서 및 프로그램 설계에 성공했다.
이 제품은 아크 억제뿐만 아니라 PC 윈도 환경에서 사용되며 공정중 간편하게 실시간 제어를 할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 이 제품은 논리연산제어장치(PLC) 기반에서 제어되는 기존 장비에 비해 시스템의 단순화가 가능해 고장 확률이 적다. 또한 가격이 저렴하며 사용법을 익히기 쉽다는 장점이 있다. 아이티엠의 플라즈마 전원장치는 제어력을 바탕으로 한 안정적인 작업수행이 가능해 연구실의 연구용이나 대규모 양산장치용으로 사용이 가능하다.
아이티엠의 박막장치는 여러가지 플라즈마 발생방식에 대한 다양한 소스를 지니고 있어 사용자의 선택의 폭을 넓혀준다. 아이티엠은 플라즈마 발생방식에 대한 원천기술을 바탕으로 다양한 소스를 장비에 입력시켰다. 이 장비는 아이티엠이 자체 생산한 플라즈마 전원장치를 탑재하고 있어 아크에 의한 박막의 불량을 획기적으로 줄여주는 등 안정성을 크게 높여준다.
◆케이맥
케이맥(대표 이중환)은 초소형 분광분석장비 스펙트라뷰(SpectraView)2000과 박막두께 측정장비 스펙트라식(SpectraThick) 시리즈를 공개한다.
스펙트라뷰2000은 자외선-가시광선(UV-Vis.)을 측정대상에 비춰 파장의 정도와 에너지 강도에 따른 농도를 분석하는 제품이다. 이 제품은 A/D 카드 내장형이며 손바닥에도 올려놓을 수 있을 만큼 크기가 작고 제품내의 움직이는 부분을 제거, 좁은 공간에서도 사용이 가능한 장점이 있다. 또한 윈도 기반의 프린터 포트를 연결선으로 이용하므로 대부분의 PC에서 원활히 작동하며 흡수·투과·산란·형광·반사 등을 이용한 다양한 측정이 가능하다.
스펙트라식 시리즈는 UV-Vis.를 측정대상에 비춰 반사되는 빛을 이용해 막의 두께를 측정한다. 이 제품은 반도체관련 사업장에서 주로 사용되며 저장기록장치에도 이용이 가능하다.
이 제품은 빛을 비춰 측정하므로 측정대상에 아무런 손상도 가하지 않는다. 따라서 일부러 샘플을 준비해 조사하는 낭비를 줄일 수 있으며 3개 층(layer)까지 측정이 가능하다.
케이맥은 현재 매뉴얼 타입과 오토메이션 타입을 제공하고 있으며 고객의 요구에 따른 다양한 제품개발을 추진중이다.
케이맥은 한국물성분석연구소를 부설기관으로 설립하고 반도체 등 정밀부품과 소재의 분석 서비스를 제공하는 한편 기술자문과 연구용역 등의 수행, 핵심부품의 개발을 통해 관련제품의 국산화 및 국제화를 꾸준히 추진하고 있다.
◆현시스템
브라운관용 측정장비 전문생산업체 현시스템(대표 박창수)은 이번 전시회에 ITC전원장치(ITC Deflection Power System)와 ITC지원장치(ITC Test & Alignment System)를 선보인다.
현시스템이 출품한 ITC전원장치는 민생용 및 공업용 브라운관의 특성 검사 및 DY/CPM 조정이 기능하도록 조건을 만들어주는 고출력 회로를 내장한 고해상도용 장비다. 특히 이 장비는 브라운관의 ITC 공정에서 작업자가 현미경을 이용해 브라운관 화면의 색상 및 선명도를 측정하면서 작업하던 기존 제품과 달리 모든 공정을 자동으로 측정해 모니터에 표시하는 기능을 갖고 있다.
현시스템은 ITC전원장치와 ITC지원장치에 대한 특허를 지난해 회득, 중국·브라질·멕시코·독일 등에 수출하는 개가를 올리기도 했다. 현시스템은 올들어 중국·독일 등지로부터의 주문이 쇄도, 지난 7월 현재 약 400만달러 정도의 수출실적을 달성했다. 박창수 현시스템 사장은 “삼성SDI에 대량 공급할 수 있는 기반을 마련한데다 수출도 호조를 보여 올해는 약 60억원 정도의 매출을 기대하고 있다”면서 “연말께부터는 플라즈마디스플레이패널(PDP)용 자동측정장비 분야로 사업을 다각화, 종합 디스플레이용 측정장비업체로 발돋움할 계획”이라고 밝혔다.
◆원시스템
원시스템(대표 황희주 http://www.smv21.com)은 디스플레이·반도체 생산에 필요한 컨베이어 시스템 전문제작업체다. 95년 설립이래 컨베이어 시스템 개발에만 주력해온 원시스템은 이번 전시회에 무접촉구동방식의 마그네틱 클린 컨베이어 시스템을 선보인다.
황희주 사장은 “초정밀 첨단부품의 제조공정 및 청정환경에서 생산되는 모든 제품에 대응한 컨베이어 시스템을 생산한다는 야심찬 계획아래 개발·출품된 이 제품은 국내 최초로 영구자석을 이용한 무접촉구동방식의 마그네틱 클린 컨베이어”라면서 “특히 이 제품은 초고분자 폴리에스테르 등 대전방지용 롤러를 탑재, 정전기 등의 발생을 최대한 억제해 제품의 손상을 막을 수 있을 뿐더러 불량률을 최소화하는 데 크게 기여할 것으로 본다”고 강조했다.
이에 따라 이 제품은 반도체 제조라인을 비롯해 PDP 글라스 이송라인, 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 글라스 이송라인 등에 적용할 수 있다는 것이 원시스템의 설명이다.
원시스템은 현재 LG전자에 컨베이어 시스템을 주력으로 공급하고 있으며 올해부터는 중국·대만·미국으로부터 대량 주문을 받아 올해 약 100억원 정도의 매출을 올릴 것으로 기대하고 있다.
한편 원시스템은 올해 말까지 ISO9002 인증을 획득하고 클린 롤러머신, 초저속 마그네틱 컨베이어 등으로 사업 품목을 다각화할 계획을 세웠다.
<김용석기자 yskim@etnews.co.kr>