한국DNS(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 4세대(730×920) 기판용 인라인코터(모델명 KSL-1000G)를 개발, 디스플레이 대상 산업기술부문 우수상을 수상했다.
포토레지스트(PR) 도포장치인 이 제품은 자체 개발해 특허 출원한 노즐형 도포 장치를 장착했으며 대면적 기판에도 정밀하고 균일하게 PR를 코팅해주는 ‘슬릿&스핀’ 기술을 적용해 PR 두께를 1.0∼2.0㎛로 조절함으로써 PR 사용량을 기존의 50%까지 절감해주는 경제적인 장비다.
또 기존 외산장비보다 25% 낮은 가격으로도 동일한 성능을 냈으며 PR 도포장치의 주변기술인 세정장치와 소성장치를 인라인화할 수 있어 기존 장치의 단점이었던 파티클 발생 문제를 해결했다.
다양한 레이아웃 조정을 통해 TFT LCD용 뿐 아니라 컬러필터 및 유기 EL용 설비에도 바로 적용할 수 있다는 점도 높은 점수를 받았다.
한국DNS는 지난 2년간 28억원를 투입해 이 장비를 개발했으며 현재 국내업체와 양산성 평가중이어서 곧 납품이 될 것으로 기대하고 있다.
95년 중기거점 과제의 일환으로 370×470㎜ 기판용 스핀코터를 개발한 바 있는 한국DNS는 G7프로젝트를 통해 3.5세대(600×720) 기판용 인라인코터에 이어 4세대 장비를 개발했으며 이미 5세대 대형기판에 적용 가능한 인라인코터의 개발에도 착수했다.
FPD 사업부문을 강화하기로 한 한국DNS는 대만·중국 등을 비롯한 해외시장 개척에도 적극 나서고 있다.
◇최장섭 연구소장 인터뷰
“장비개발을 위해 함께 밤잠 설치며 노력한 개발팀원들과 이 기쁨을 함께 하고 싶습니다.”
한국DNS의 장비개발 책임자인 최장섭 상무는 수상의 영광을 팀원들에게 돌렸다.
“세계 제일의 TFT LCD 생산기술을 보유하고 있으면서도 생산설비에 있어서는 아직 걸음마 단계를 벗어나지 못하는 현실이 안타깝다”는 최 상무는 “장비를 개발하는 과정에서 정밀도 높은 국산 부품이 거의 없어 해외에서 부품을 조달해야 하는 상황이 가장 어려웠다”고 말하고 “국내의 우수 가공업체를 찾아다니면서 여러번의 시행착오를 거쳐 만족할 만한 부품을 수급했을 때 가장 기뻤다”고 회상했다.
장비의 신뢰성을 테스트할 설비가 마땅치 않아 일일이 패널업체들을 찾아다녀야 했고 개발완료 후에도 패널업체들의 국내 장비에 대한 믿음이 부족해 사업화가 쉽지 않았다는 최 상무는 경쟁력 있는 장비를 지속적으로 개발해 국산장비에 대한 인식을 바꾸겠다고 다짐했다.
또 “LCD의 경우 글라스 크기에 따른 장비 세대교체 시기가 너무 빨라 국내 장비업체에서 자체적으로 차세대 설비를 개발하기는 현실적으로 힘들다”며 “개발단계부터 정부지원을 기반으로 패널업체와 공동개발해야만 외국 업체보다 한발 앞서 신개념의 장비를 개발하고 중장기적으로 국내 디스플레이산업의 경쟁력을 강화시킬 수 있을 것”이라고 강조했다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>