반도체 수율 관련 장비 전문업체인 셀라이트(대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)가 3일 검사장비인 TIMS-2000에 대해 유럽안전규격(CE) 인증을 획득했다고 밝혔다.
TIMS-2000은 웨이퍼 세정공정 용액이나 가스중앙공급장치(CCSS)에서 공급되는 화학약품내의 금속오염도를 실시간 모니터링해 화학약품의 수명을 분석·제어하고 대형사고를 예방해 주는 장비다.
셀라이트는 이번에 독일의 품질인증기관인 TUV-PS로부터 기계지침(MD)·전기지침(LVD)·전자파지침(EMC) 등 전 부문에서 인증을 획득함으로써 유럽을 비롯한 해외시장을 공략할 수 있는 기반을 확보하게 됐다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>