◆서울일렉트론-SVF시리즈
서울일렉트론(대표 채인철 http:///www.sel.co.kr)은 이번 전시회에 확산로(SVF시리즈)와 펌프식 공급시스템(LSDS시리즈)을 출품한다.
200㎜ 웨이퍼 전용 SVF(Seoul electron Vertical Furnace) 시리즈는 간편한 조작성과 지속적인 유지보수 능력을 가진 것이 특징으로 반도체 제조과정에서 열 산화막 형성공정과 확산공정 등에 사용된다. 이 장비는 이중관 방식을 채택, 저산소환경(10ppm)에서 간편하게 공정할 수 있으며 비흡착형 빗(Comb)식 이송방식으로 웨이퍼 25장을 일괄처리할 수 있어 이송시간을 줄인 것이 장점이다.
고온용 카트리지히터를 탑재하고 고온 발열체와 고성능의 단열재를 사용해 열 응답성과 안정성 및 긴 수명을 실현한 이 제품은 온도제어를 위해 DDC 컨트롤러(DSR884)를 기본 장착, 캐스케이드 제어 및 자동프로파일 제어와 함께 PC와의 양방향 통신기능을 제공한다.
화학기계적연마(CMP) 공정에 사용되는 슬러리를 자동적으로 희석·공급하는 펌프식 공급시스템인 LSDS 시리즈는 콤팩트한 설계로 공간점유율을 최소화했으며 희석, 공급은 물론 탱크, 밸브, 펌프 등 슬러리 라인을 세정하는 공정도 자동화했다.
또 사용자의 편의를 위해 모든 시스템에 터치스크린 컨트롤러를 장착했으며 2개의 혼합 탱크를 채택, 슬러리 공급이 중단되지 않고 일정하게 공급된다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>