◆성도이엔지-중앙가스공급장치
각종 플랜트 및 유틸리티를 설계, 시공하는 성도이엔지(대표 서인수 http://www.sungdokorea.com)는 이번 전시회에 반도체 및 LCD 제조공정에서 초고순도(UHP) 가스, 화학약품, 액체를 공급해주는 UHP 공급 시스템을 선보인다.
UHP 공급 시스템은 생산제품의 품질과 성능을 희생하지 않는 범위에서 최적 설계로 반도체 공정 중 파티클 발생요인과 오염 발생 가능성을 차단해주는데 사용되는 토털솔루션으로 중앙가스공급장치(CCSS), HF/NH4OH 믹싱 시스템, CMP 슬러리 공급 시스템, 자동 연결장치 및 이에 필요한 배관 등으로 구성된다.
이 중 CCSS는 탱크 2개가 콤팩트하게 장착돼 공간을 적게 차지하며 터치스크린을 통해 전자동 모니터링이 가능한 설비로 가스의 안정된 공급패턴을 갖고 있으며 주문자의 사양에 맞춰 제작이 가능하다.
성도이엔지는 시스템의 품질관리를 위해 기초설계 단계부터 누수, 파티클 등에 대한 완벽한 테스트를 거치며 현장에 엔지니어를 상주시켜 24시간 내내 확실한 사후관리를 제공한다.
성도이엔지는 최근의 반도체 경기침체 상황을 타개하기 위해 기존 반도체 제조설비 위주의 사업영역을 LCD 제조설비 및 플랜트 분야로 다양화한 결과 일진다이아몬드·아남전자·동부전자 등으로부터 신규설비공사를 수주한 것을 비롯, 대만·필리핀·말레이시아 등의 해외공사도 수주하는 등 매출신장을 보이고 있다.