전북대학교 실험실 창업 벤처기업인 세심광전자기술(대표 김진승)이 지난 8개월 동안 8000만원을 투입해 PC 임베디드 방식의 액정셀 두께(갭) 측정기를 개발, 일진다이아몬드에 납품했다고 25일 밝혔다.
할로겐 텅스텐 램프를 광원으로 사용해 8인치 웨이퍼 기판에서 셀 갭을 측정하는 이 장비는 파장에 따라 변하는 액정셀의 분광투과곡선에 FFT(Fast Fourier Transform) 알고리듬을 적용, 측정시간을 2초 미만으로 단축시켰다.
또 배향막(PI)과 산화인듐주석(ITO) 코팅의 굴절률 분산을 고려한 자체 알고리듬을 적용, 0.002㎛의 측정 재현성과 1㎛ 위치 정밀도를 구현했으며 액정이 있는 셀과 없는 셀을 하나의 장비로 측정할 수 있어 기존 제품보다 60% 정도 저렴하다.
이 회사는 다음 달 액정온실리콘(LCoS)과 반사형 보급형 액정표시장치(STN LCD), 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제품에 적용할 수 있는 반사형 셀 갭 측정기를 출시할 계획이다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>