반도체 전공정 검사장비 전문업체 셀라이트(대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)가 금속오염 검사장비 ‘TIMS 2000’을 5일 대만으로 선적한다고 밝혔다.
셀라이트는 지난달 5일 대만의 한 반도체 수탁생산(파운드리)업체와 장비 수출계약을 맺었으며 이번에 2억원 상당의 장비 첫 수출을 시작으로 1년 동안 60억원어치의 장비를 공급할 예정이다.
이 장비는 반도체 세정공정시 불순물을 실시간으로 검사해 생산사고를 방지하고 생산수율을 높여주는 장비로 지난달 일본 도쿄엘렉트론과도 수출계약을 맺었었다.
TIMS 사업본부장 김진호 이사는 “내년에 대만시장에서만 약 70억원 정도의 수출목표를 세웠다”며 “내부 기술조직을 강화하고 해외 유명 기술개발업체와의 제휴를 통해 동남아시아와 미국, 유럽시장도 적극 공략할 계획”이라고 말했다.
셀라이트는 내년 상반기 출시를 목표로 구리·철 이외에 이온성 금속 오염원을 검출할 수 있는 장비도 개발중이다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>