플라즈마 장비 전문업체 쎄미시스코(대표 이순종 http://www.semisysco.com)는 최근 한국과학기술원(KAIST)내 벤처기업인 플라즈마트(대표 장홍영)와 플라즈마 시스템의 공동 개발과 공동 마케팅에 관한 전략적 제휴를 맺었다고 14일 밝혔다.
이번 제휴로 반도체 플라즈마 건식식각공정의 종료점을 자동검출하는 쎄미시스코의 엔드포인트시스템과 플라즈마의 이온상태, 전자밀도, 분포상태 등을 플라즈마 반응 체임버에서 직접 측정할 수 있는 플라즈마트의 검사장비를 결합, 새로운 플라즈마 진단장비를 개발할 수 있게 됐다.
이 외에도 두 회사가 독자적으로 추진해오던 개발과제를 공동으로 추진해 신기술 개발에 소요되는 경비 및 위험부담을 최소화한다는 계획이다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>