어플라이드비전텍(대표 최병곤 http://www.avtek.co.kr)이 기존 영상검사시스템의 응용범위를 넓혀 반도체 재료, 액정표시장치(LCD) 필름 등을 검사하는 정밀종합검사장비 분야로 사업을 확대한다고 28일 밝혔다.
이 회사는 지난 7월 반도체 트랙공정 중 웨이퍼의 정렬상태 및 에지 비드(bead) 제거상태를 초소형 고체촬상소자(CCD) 카메라로 촬영한 후 소프트웨어를 통해 분석하는 ‘EBR 인스펙터’를 개발했으며 최근 펠리클, 폴리이미드 테이프, LCD용 폴라라이저 등의 상태를 검사하는 시스템을 추가로 개발중이다.
펠리클 인스펙터는 국내 펠리클 전문업체 에프티에스에 공급될 예정이며 폴리이미드 테이프 인스펙터는 새한기술연구소에, 폴라라이저 인스펙터는 동우화인켐에 각각 공급될 예정이다.
이 회사는 또 검사 및 오류보정용 소프트웨어에 이어 공장자동화장비도 개발중이다. 이를 위해 다음달말까지 천안 외국인전용공단 안에 장비 양산은 물론 시료 검사를 통한 안정성 검증작업을 동시에 진행할 수 있는 클린룸을 마련하기로 했다.
최병곤 사장은 “자체 개발한 인스펙터 소프트웨어는 대상물을 정밀촬영한 후 실시간으로 분석, 오류를 보정해 기존의 육안 검사방식에 비해 생산성 향상은 물론 작성된 데이터베이스를 토대로 근본적인 오류제거가 가능하다”며 “반도체 및 LCD 제조공정뿐만 아니라 높은 수준의 정밀도를 요하는 모든 산업분야에 적용할 수 있어 내년말까지 응용제품의 종류는 지금의 서너배 수준으로 늘어날 전망”이라고 말했다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>