나노메트릭스코리아, 오버레이 측정장비 국산화

 웨이퍼 측정장비 전문업체 나노메트릭스코리아(대표 김재삼 http://www.nanometrics.co.kr)는 반도체 노광공정에서 웨이퍼 패턴층간의 정렬상태를 측정하는 오버레이 측정장비(모델명 나노 OCS7210)를 국내 최초로 개발했다고 24일 밝혔다.

 나노메트릭스코리아는 미국의 측정장비업체 나노메트릭스의 한국법인으로 미국 본사에서 수입한 박막두께 측정장비, 광학CD 측정장비 등을 국내에 공급해왔으나 독자적으로 장비를 국산화한 것은 이번이 처음이다.

 신제품은 0.10미크론(1㎛은 100만분의 1m) 이하 공정의 고집적 반도체에 적용할 수 있는 무수차 대칭성 회절제한 광학장치(영상왜곡이 없는 광학측정장치)를 비롯해 오정렬 측정을 위한 디지털 이미지 폴딩 방식의 측정 알고리듬, 이동중인 웨이퍼에 포커스를 설정할 수 있는 레이저 기반 자동 포커스시스템 등을 내장했다.

 이 회사 김재삼 사장은 “수십층으로 이뤄진 고집적 반도체용 웨이퍼를 대상으로 각 층간의 회로연결에 문제가 없는지 측정하는 이 장비는 1시그마당 정밀도가 표준편차 0.7나노미터(㎚) 이내에 들 만큼 정확도가 뛰어나다”며 “초미세기술이 요구되기 때문에 그동안 전세계 시장의 90% 이상을 미국회사들이 점유해왔으나 이번에 장비가 국산화됨에 따라 미국회사들의 독주를 견제할 수 있게 됐다”고 말했다.

 나노메트릭스코리아는 다음달부터 동남아시아·유럽·미주시장 공략에 착수해 올해 50억원 가량의 매출을 올리고 앞으로 5년 안에 관련매출을 500억원 이상으로 확대, 2001년 현재 세계시장 점유율 4위에서 1위로 도약한다는 계획이다.

 <최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>