반도체장비 전문업체 넥소(대표 문종 http://www.nexso.com)는 플라즈마를 이용한 청색 발광다이오드(LED) 제조용 식각장비를 국내 최초로 개발했다고 10일 밝혔다.
이 장비에는 넥소가 지난 2년 동안 5억원의 연구비를 들여 자체 개발해 특허출원한 유도(誘導)결합형 플라즈마(ICP:Inductively Coupled Plasma) 생성기술이 채택됐다.
다이아몬드와 비슷한 강도의 사파이어 기판 위에 성장시킨 갈륨나이트라이드를 기체 상태의 플라즈마로 식각해야 하는 청색 LED 공정에서 유도결합형 플라즈마 생성기술은 핵심기술이면서 구현이 까다롭다.
넥소의 ICP 식각장비는 식각률이 분당 1미크론(1㎛은 100만분의 1m) 이상이면서 플라즈마를 이용, 식각 균일도를 높였다.
또 특허 출원중인 안테나 구조와 펌프 구조를 이용해 플라즈마 식각 편차를 2시그마, 식각 오차 범위를 3% 미만으로 유지하며 배기가스의 균일성을 확보, 20% 이상의 수율 개선이 가능하다는 것이 회사측의 설명이다.
이밖에 주변 액세서리를 간소화해 장비 운용 및 유지보수가 간편하며 통신 케이블 수를 줄여 장치간 발생할 수 있는 통신 에러율을 낮췄다.
문종 사장은 “식각이 까다로운 청색 LED 공정은 물론 기타 화합물반도체와 미세전자기계시스템(MEMS) 제조공정에도 이 장비를 적용할 수 있다는 장점이 있다”며 “최근 청색 LED 업체에 장비를 공급해 좋은 반응을 얻고 있는데다 국내외 화합물반도체 및 MEMS 제조업체로부터 주문 상담이 이어지고 있어 시장전망은 매우 밝은 편”이라고 말했다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>