주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 200만달러 상당의 알루미늄 산화막 원자층증착(ALD)장비를 미국의 주력 소자업체에 수출한다고 14일 밝혔다.
ALD는 경박단소화 추세에 있는 반도체 소자를 제조하기 위해 균일하고 순수한 박막을 저온에서 형성하도록 해주는 신공법이다. 또 향후 반도체 공정이 0.10미크론(1㎛은 100만분의 1m) 이하로 미세화될 경우 기존 화학기상증착(CVD) 방식을 대체할 수 있는 공법으로 평가받고 있어 세계 유수의 장비업체들이 개발을 서두르는 분야이기도 하다.
주성엔지니어링측은 이번에 수출하는 장비가 CVD장비가 아닌 차세대 증착장비로 인정받는 ALD장비인데다 국내가 아닌 반도체 선진국인 미국에서 먼저 판매된다는 점에서 의미가 있다고 밝혔다.
이 회사 황철주 사장은 “그동안 주성이 전공정장비시장에서 기술력을 인정받아온 CVD장비 외에 최근 건식식각장비와 ALD장비 등을 추가로 상용화함에 따라 종합 장비 제조업체로 발돋움할 수 있는 기반이 마련됐다”며 “올해 매출은 지난해 499억원보다 59% 가량 늘어난 792억원, 수출비중은 지난해 50% 수준에서 올해는 75% 이상으로 확대될 것”이라고 말했다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>