반도체 공정용 가스업체 프락스에어코리아(대표 이강호 http://www.praxair.com)는 올해 LD(logical destination), 발광다이오드(LED) 등 화합물반도체 제조에 쓰이는 특수가스(암모니아, 알신, 포스핀 등)사업에 주력한다는 방침이다.
이 회사는 이를 위해 지난해 삼성전자 기흥공장에 파이프라인으로 대량 공급되는 질소가스 제조공장을 세우는 등 반도체관련 신규사업 투자를 완료했다.
이 회사의 특수가스용 순도 99.99995%의 암모니아(NH3)가스는 세계에서 가장 높은 순도를 자랑하며 순도 99.9999%의 알신(AsH3)가스와 포스핀(PH3)가스도 기술 경쟁력이 높은 것으로 평가받고 있다.
이 회사 전석우 이사는 “반도체 공정용 특수가스 국산화에 투자를 집중하고 있다”며 “반도체의 성질이 변함에 따라 요구되는 초고순도 가스 개발에 힘을 쏟을 계획”이라고 말했다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>