고순도 금속재료 전문 벤처기업 나인디지트(대표 우상모 http://www.9digit.co.kr)는 화합물반도체 웨이퍼(에피 웨이퍼) 제조공정에 사용되는 실리콘 게르마늄을 4분기부터 양산할 계획이라고 28일 밝혔다.
이 회사는 석탄에서 게르마늄을 추출, 고순도 금속 및 화합물로 정제하는 기술을 갖고 있다. 이렇게 정제된 재료는 증착과정에서 미세 금속의 도선이나 절연막 형성하는 데 사용되는 금속재료, 즉 ‘스퍼터링 타깃’의 원료로 사용된다.
이 회사 관계자는 “이 재료는 수량이 많지 않고 고순도(99.999%) 정제가 필요하기 때문에 국내 화합물반도체업체들이 그동안 수입에 의존해 왔다”며 “올 3분기께 게르마늄이 함유된 석탄을 러시아에서 도입, 4분기에는 양산체제에 들어갈 예정”이라고 밝혔다.
한편 나인디지트는 갈륨·인듐·구리 등을 가공해 고순도 금속으로 만드는 기술을 국내 처음으로 개발, 상용화했으며 앞으로 반도체 배선재료인 구리 및 구리 도금액 등을 국산화할 계획이다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>