세계 최대 반도체 제조공정용 이온주입기(ion implanter) 생산업체인 한국베리안(대표 김용길 http://www.vsea.com)은 최근 본사가 생산한 800호기 중전류(medium current) 이온주입기를 삼성전자에 공급했다고 밝혔다.
중전류 이온주입기 생산 800호기를 돌파한 것은 이 회사가 처음이다.
베리안은 1985년 회사설립 이후 고전류·중전류·고전압·초저전압 등 다양한 형태의 이온주입기 2800여대를 생산해 세계 반도체 제조업체에 공급하고 있으며 이 가운데 350여대를 우리나라에 공급했다.
이번에 800호기 생산을 돌파한 이온주입기는 중전류 방식의 ‘E시리즈’로 우리나라에서만 지난 10여년 동안 126대가 판매되는 등 가격대비 성능면에서 사용자들의 인정을 받고 있으며 오염을 최소화할 수 있고 균일도가 좋아 품질경쟁력이 우수하다는 것이 회사측의 설명이다.
한국베리안 김용길 사장은 “중전류 방식의 800호기를 국내에 소자업체에 공급하게 됐다”며 “국내에 가장 많이 판매된 ‘E시리즈’ 외에도 300㎜ 웨이퍼 가공공정 대응능력을 갖춘 ‘비스타시리즈’에 대한 마케팅을 앞으로 크게 강화할 것”이라고 말했다.
이 회사는 조만간 국내 조립생산시설을 본격적으로 가동할 방침인 것으로 알려졌다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>