대덕밸리의 반도체 공정장비 벤처기업인 지니텍(http://www.genitech.co.kr 대표 박인규)은 지난해 네덜란드의 다국적기업 ASM(http://www.asm.com)과 체결한 기술수출 및 장비계약에 따라 300㎜ 플라즈마원자층증착장비(PEALD) 1대를 처음 선적했다고 27일 발표했다.
이 장비는 한국과학기술원(KAIST) 국가지정연구실 사업을 벌이고 있는 반도체재료연구실(강상원 교수)과 지니텍이 산학협동사업으로 연구개발을 통해 개발했다.
지니텍은 올해 ASM에 모두 4대를 공급할 예정이며 내년까지 10대 이상, 본격적인 양산에 들어갈 오는 2005년부터는 연간 100대 정도 규모(1억달러 상당)를 공급할 예정이다.
박인규 사장은 “ASM과 상용화 모듈을 만들기 위한 첫 수출”이라며 “반도체 공정장비를 외국에 수출하고 기술료까지 받아낸 것은 우리나라 반도체 공정장비 개발 역사상 처음”이라고 말했다.
<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>