반도체 장비업체들이 후공정 장비에 비해 상대적으로 부가가치가 높은 전공정 장비 개발에 잇따라 나서고 있다.
10일 업계에 따르면 주성엔지니어링·유니셈·아토 등 반도체 장비업체들은 최근 300㎜ 웨이퍼용 에처·원자층증착(ALD)장비·화학기상증착(CVD)장비 등 외산 장비업체들이 점유해 온 전공정 핵심장비시장에 속속 참여할 태세다.
이는 전공정 장비 분야에 취약한 국내 장비산업의 단점을 보완하기 위해 정부가 최근 전공정 장비 개발을 독려하고 있는데다 장비업체들 역시 세계적인 업체로 발돋움하기 위해서는 전공정 장비 개발이 필수적이라는 공감대가 형성되고 있기 때문으로 풀이된다.
특히 단가와 부가가치면에서 전공정 장비가 전공정 부대장비 또는 후공정 장비의 수십배에 이른다는 점도 한 요인으로 작용하고 있다.
주성엔지니어링(대표 황철주)은 종전 CVD장비에 이어 지난 1분기 ALD장비를 상용화한 데 이어 최근에는 300㎜ 웨이퍼시장을 겨냥한 드라이에처 장비를 개발, 시장공략에 착수했다.
이 회사는 300㎜시장이 개화 초기에 있어 시장선점의 기회를 잡을 수 있는데다 에처장비 시장규모가 CVD장비 시장의 3배에 달하므로 초기시장에서 성공할 경우 회사를 한단계 업그레이드할 수 있는 계기가 될 것으로 기대하고 있다.
유니셈(대표 김경균)은 전공정 핵심장비 시장에 진출한다는 계획아래 총 3억원을 투입해 차세대 증측기술인 ALD 공정기술을 개발중이며 최근에는 자체 개발한 공정방식에 관한 특허를 취득, ALD 사업진출을 가속화하고 있다.
유니셈은 ALD에 관한 다양한 공정기술을 추가로 개발해 이를 국내외 장비업체에 판매하거나 ALD 완성장비를 개발해 부가가치를 높이는 방안을 모색중이다.
아토(대표 문상영)는 가스공급장비 등 기존 전공정 부대장비사업과는 별도로 전공정 핵심장비시장에 진출하기 위해 지난해부터 호서대학교 연구소와 산학협동으로 PE(Plasma Enhanced)CVD장비를 개발해 왔으며 최근에는 소자업체를 통해 베타테스트 작업을 진행중이다.
국내 소자업체와 완성장비 공급계약을 앞두고 있는 이 회사는 PECVD로 올해 최대 80억원의 매출을 예상하고 있으며 이를 통해 전공정 장비사업 진출을 한층 가속화한다는 전략이다.
업계 관계자는 “그동안 우리나라 반도체 전공정 장비의 국산화 비율은 6∼7% 수준에 불과했지만 최근들어 전공정 핵심장비사업에 진출하는 업체가 늘어남에 따라 내년께에는 10%대 진입도 기대할 만하다”고 말했다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>