전자 소재 다산씨앤드아이 삼성전자에 칠러 공급 발행일 : 2002-06-17 15:42 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 반도체 장비업체 다산씨앤드아이(대표 오희범)는 삼성전자와 칠러(chiller) 공급계약을 맺었다. 칠러는 반도체 공정 중 웨이퍼를 식각할 때 발생하는 열을 제어해주는 자동온도조절장치로 다산씨앤드아이는 이를 7월 말까지 삼성전자 기흥 반도체 공장에 입고할 예정이다. <최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>