에피웨이퍼 제조업체 네오세미테크(대표 오명환 http://www.neosemitech.com)는 국내 최초로 150㎜ 갈륨비소(GaAs) 에피웨이퍼를 개발, 최근 월 1000장 규모로 양산에 들어갔다고 10일 밝혔다.
네오세미테크가가 2년여의 연구끝에 개발한 150㎜ 웨이퍼는 국내에서는 가장 큰 크기로 기존 단속공법과는 달리 연속공정법을 채택, 중간에 멈추지 않고 잉곳(ingot)을 생산할 수 있어 수율을 높이고 생산비를 절약할 수 있는 장점이 있다.
오명환 사장은 “현재 주문이 밀려들어 공장을 24시간 가동하는 한편, 공장 증설을 추진중”이라며 “최근 대만에서 주요 비메모리반도체업체들과 로드쇼를 갖고 수출협상을 진행중”이라고 말했다.
‘에피웨이퍼(epitaxial wafer)’는 기존 화학증착법을 이용해 단결정막을 성장시킨 웨이퍼를 말하며 표면결함이 적고 전기적 특성이 우수한 차세대 웨이퍼다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>