세계 최대의 반도체 제조공정용 이온주입기(ion implanter) 생산업체 한국베리안(대표 김용길 http://www.korea.vsea.com)은 최근 동부전자에 고전류(high current) 이온주입기인 ‘비스타(VIISta)80’을 공급했다고 28일 밝혔다.
한국베리안이 동부전자에 고전류 이온주입기를 공급한 것은 이번이 처음이다.
이온주입기는 반도체 전공정에서 회로패턴과 연결된 부분에 미세한 가스 입자 형태로 불순물을 가속해 웨이퍼의 내부에 침투시킴으로써 전자소자의 특성을 만들어주는 장치다.
‘비스타80’은 이중감속시스템과 개선된 병행 마그넷, 총 입사각 관리기능 등을 내장해 에너지 오염 제거 및 빔 균일도를 높였으며 디스크에 여러장의 웨이퍼를 동시 로딩, 이온주입하는 종전 배치 타입에서 발생하는 단점을 극복했다는 것이 회사측의 설명이다.
한국베리안측은 시설확장을 추진중인 동부전자가 이온주입기의 추가 도입을 검토하고 있기 때문에 조만간 추가 수주가 가능할 것으로 낙관하고 있다.
한편 미국에 본사를 둔 베리안은 85년 설립 이후 2800여대의 고전류·중전류·고전압·초저전압 등 다양한 형태의 이온주입기를 생산, 이 중 350여대를 우리나라에 공급한 바 있다
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>